內(nèi)蒙古空壓機真空泵特點及其他常見中低真空泵比較

真空技術(shù)應(yīng)用廣泛，真空獲取是真空應(yīng)用研究的基礎(chǔ)。顧名思義，內(nèi)蒙古空壓機廠家的真空獲取設(shè)備用于抽氣封閉容器，創(chuàng)造真空環(huán)境。根據(jù)抽氣原理，真空獲取設(shè)備可分為氣體捕獲式和氣體輸送式，其中氣體輸送式可細分為變?nèi)菔胶蛣恿斔褪健?/p>

隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展和創(chuàng)新，真空的應(yīng)用范圍越來越廣，對真空獲取設(shè)備的要求也越來越高。在傳統(tǒng)的油封機械泵中，泵油可以潤滑泵腔，密封泵腔，但對于真空環(huán)境，一旦泵油回流到真空環(huán)境會污染真空腔，另一方面，工藝氣體也會與泵油反應(yīng)，泵油容易惡化，影響真空泵的穩(wěn)定運行。

特別是在半導(dǎo)體、航空航天、微電子、光伏、微納加工、真空涂層等領(lǐng)域，對真空環(huán)境和真空設(shè)備的要求較高，不僅要求清潔、無油、高真空，而且要求設(shè)備運行穩(wěn)定可靠、節(jié)能環(huán)保。

干式真空泵運行時泵腔無油，即泵腔無油潤滑密封，內(nèi)蒙古空壓機不影響真空環(huán)境，真空環(huán)境清潔度高；不同的干泵有不同的應(yīng)用，一般要求及時去除易燃、易爆、腐蝕、冷凝氣體等。

常見的機械干泵有羅茨、螺桿、爪、往復(fù)、渦旋等。螺桿干真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊、泵腔無油、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子與泵腔無接觸等優(yōu)點，可應(yīng)用于復(fù)雜的工作環(huán)境，運行可靠，使用壽命長。

螺桿真空泵是一種干式真空泵，表1給出了中低真空泵的常見特點和優(yōu)缺點，螺桿真空泵具有以下特點：

（1）抽真空時，泵油進入真空室污染真空環(huán)境，工藝氣體污染泵油，影響泵的穩(wěn)定運行。螺桿真空泵是一種干式真空泵，轉(zhuǎn)子腔室無油。

(2)適應(yīng)性強。螺桿真空泵泵速度高，只有一個螺桿真空泵才能獲得更高的真空度，可以直接從大氣壓抽到1Pa以下，無需與其他泵串聯(lián)，抽氣性能優(yōu)異，抽氣速度穩(wěn)定，節(jié)能高效；對于一些腐蝕性氣體，可在轉(zhuǎn)子表面和泵腔表面進行涂層，以提高轉(zhuǎn)子和泵體的表面性能。同時，轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙，在運行和組裝過程中不會損壞涂層。

（3）結(jié)構(gòu)緊湊，可靠性高。內(nèi)蒙古空壓機螺桿真空泵通過一對螺桿轉(zhuǎn)子同步旋轉(zhuǎn)。間隙的存在使轉(zhuǎn)子在運行過程中不會因熱膨脹而卡住。同時，一些含粉塵的顆粒氣體和易燃易爆氣體也可以去除。

(4)故障少，維護方便。泵腔內(nèi)只有一對螺桿轉(zhuǎn)子，工作穩(wěn)定，安全高效。

（5）氣體通路較短。泵內(nèi)氣體輸送路徑較短。對于等螺距螺桿轉(zhuǎn)子，氣體在輸送過程中不會壓縮，避免反應(yīng)堆積，有利于氣體的快速排放。